Thin Film Deposition Controller

  • product ID:84

  • Thin Film Deposition Controller


    Specification:

  •  

    測量 　 控制能力 　
    頻率計算精度 0.03Hz@6MHz 製程 5個
    頻率顯示精度 0.01Hz 層 495層
    測量速率 4Hz 源 1-2個
    顯示 　 坩堝 1-12個
    厚度顯示 000000-999999Å Sensor 　
    速率顯示 000.0-999.9Å/s 　 標準單石英
    功率顯示 00.0-99.9% 　 帶擋板單石英（可選）
    時間顯示 00:00:00-23:59:59 　 帶擋板雙石英（可選）
    圖形顯示 256x128LCD,低功耗LED背光 源控制電壓 　
    存儲能力 　 　 0-±2.5V
    製程 5個 　 0-±5V
    層 495層 　 0-±10V
    材料庫 已定義257種，用戶自定義10種 其它 　
    通訊 　 供電要求 220V(±5%),50Hz,≦40W
    通訊界面 標配RS-232串行口 工作溫度 0℃～50℃ 
    WINDOWS軟體 隨機配帶 儀器尺寸 135x480x360mm;(高x寬x深),可用于19’標準工業機架
    輸入輸出控制 　 儀器重量 5.5Kg
    輸出能力 16個繼電器，2A Max. 　 　
    輸入能力 16個隔離通道，可接交/直流信號