Electro-Polishing
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- product ID:57
Electro-Polishing
Specification:
電解拋光技術原理/特性: (Electro Polishing - EP)
電解拋光技術原理是將工件置於特殊電解液中,施以適當電壓及電流,使工件表面發生陽極電解反應,藉以達成平坦化、光澤化及鈍化之陽極電解加工技術。
這種金屬表面陽極電解處理技術可稱之為:
• 電解拋光(Electro Polishing - EP)
• 電化學拋光(Electro-chemical Polishing)
• 電解研磨(Electrolyte Polishing)
有別於一般傳統製程之電解拋光技術:(Electropolishing - EP)
本公司由德國引進之電解拋光(Electropolishing - EP)製程技術,完全不使用鉻酸、氰化物、氟酸、氫氟酸、氟化氨、硝酸等劇毒化學品,
為德國成熟先進之綠色環保表面處理製程技術。
與一般傳統之不銹鋼電解拋光比較,本製程技術之電解拋光液沒有污染性,可長期使用不需要經常重新建液。
( 符合歐盟『危害物質禁限用指令RoHS』標準。)
電解拋光技術在半導體,光電,微機電,生物科技,化工,醫療用品,食品工業及其它儀器,工藝品等製造業中被廣泛採用。如:閥件,接頭,管配件,無縫管,
化工桶槽,真空腔體,氣體流體控制零組件等。
雷射切割工件,電解拋光可以用來去除雷射切割加工後產生之毛邊,清除不銹鋼表面氧化物,獲得光滑清潔的表面。增加工件耐蝕性,提高反射率,
而且不會影響工件尺寸精密度。
電解拋光製程技術可使用於下列金屬:
• 不鏽鋼電解拋光(Stainless Steel Alloy)
• 鋁合金電解拋光(Aluminum Alloy)
• 銅合金電解拋光(Copper Alloy)
• 沃斯田鐵電解拋光(Austenitic Steel)
• 低合金鋼電解拋光(Low-alloy Steel)
• 碳鋼電解拋光(Carbon Steel)
以上各種金屬之拋光及去毛邊效果會因不同金屬成份及不同金相結構而有所差異。
不鏽鋼電解拋光應用範圍: (Electropolishing-Application)
• 不鏽鋼電解拋光技術可使工件表面同時達到高潔淨度、高耐蝕性、
低表面粗度(Ra)等要求。
• 不鏽鋼電解拋光技術可去除毛邊,適用於精密元件及機械處理難以到達的區域。
• 產生鈍化層:不鏽鋼機械拋光處理時所引發的鎳、鉻貧化常是造成工件腐蝕的
原因。電解拋光處理則可因鐵的解離而產生鎳、鉻富集的鈍化層,提高耐蝕性。
• 不銹鋼電解拋光技術可應用於半導體、生化、生醫、光電、微機電、食品、
精密機械及無塵室設備之表面處理。
• 不銹鋼電解拋光技術為半導體設備重要的表面處理技術。所有的不銹鋼設備及
零組件都要經電解拋光處理(EP)以確保晶圓製程流體、氣體的潔淨度及純度。
• 不銹鋼電解拋光後之表面粗度(Ra)與電解拋光前金屬表面的面粗度條件有關;
為了得到鏡面效果,最好使用光輝熱處理後之不銹鋼材料(Bright Annealing, BA)。
• 電解拋光前不銹鋼工件如能先經過機械拋光處理,則電解拋光製程可改善工件
表面粗度(Ra)達25~50%。
• 一般半導體廠使用的不銹鋼工件多會先作機械式液體拋光處理,大幅降低其表面
粗度(Ra)後再作電解拋光處理,以得到較佳之表面粗度潔淨度鈍化層及耐蝕性。
• 若能採用高品質材料,則電解拋光(Electropolishing)的效果會更佳。
例如:SUS 316L、SUS 316L VIM/VAR、高潔淨鋼、銅合金、鋁合金等。
