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PLD 旋轉靶座
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迴轉軸
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耗材
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濺鍍靶
Heater
加熱器
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腔體及附件
Linear Feedthrough
線性傳輸棒
UHV reaction system
Vacuum Reflow Oven
真空迴銲爐
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電子束蒸鍍系統
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化學氣相沈積系統 CVD
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濺鍍系統
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廢氣處理系統
PLD System
脈衝雷射鍍膜系統
In Line sputtering System
多腔連續式濺鍍系統
Ion Deposition System
離子鍍膜系統
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DC Plasma Generator
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智慧型膜厚監控儀
Ion source application
離子源及應用
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電解複合式研磨
System / Pump maintenance and troubleshooting
系統及幫浦保養及維修
Parts
PLD 旋轉靶座
旋轉靶座
電漿氣體裂解源
電漿氣體裂解源 (氮氣)
離子源
無柵極無燈絲高能電漿離子
迴轉軸
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16 CF 高扭力旋轉軸
35 CF 超高真空用旋轉軸
16 CF 電動旋轉軸
耗材
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膜厚儀用石英震盪晶片
真空用石墨及陶瓷用品
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